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秀山力德三次元、力德三次元校准、欣晟泰：

主要特征：

     桥架固定，工作台移动的固定桥式结构，秀山力德三次元，为整机提供了更稳定可靠的精度基础，并确保高速运行时，振动对精度的影响低

     陶瓷Z轴、全花岗岩结构，为计量室环境下的测量提供了稳定的高精度

     中心驱动系统减少偏摆和扭转，力德三次元维护，Y向光栅安装于工作台的中央，阿贝误差小

     Y向采用燕尾导轨结构，提高了机器的精度和重复性

     柔性同步带系统，兼顾柔性啮合与刚性轴向传动的优点，确保高加速度时定位到位从而提高运动的平稳性

     Z向采用可调式气动平衡设计，提高了机器的动态性能，提升Z轴安全性

     标配温度传感器，自动补偿由于温度变化而引起的误差

     采用HEIDENHAIN高分辨率金质光栅，其热膨胀系数获得PTB认证

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1) 力变形误差

在实际的坐标测量中，虽然各个部件具有较高的刚性，但力变形是不可避免的。

2) 温度误差

温度误差又称为热误差或热变形误差，它不是温度本身的误差，而是由于温度因素而引起的几何参数的测量误差。形成温度误差的主要因素是被测物体和测量仪器的温度偏离20℃或被测物体的尺寸和仪器的性能随温度变化。误差修正分为实时修正和非实时修正。由于系统误差不便进行实时修正，在实践中常常只对温度误差进行实时修正。横臂梁式三坐标测量机的稳定误差可表示为:

?l=l(αp-αs)?t式中:

αp，αs被测工件及横臂梁材料的线膨胀系数，1/℃ ?t横臂梁材料相对于标准温度(20℃)的偏差， l横臂梁长度。

3) 探测误差

三坐标测头的探测误差是影响测量不确定度的重要因素，不同的测头探测误差也不同，一般包括瞄准误差、测端等效直径的影响、各向异性、附件误差等。

4) 动态误差

动态误差必然存在于动态测量中，对其研究起步较晚且过程复杂，是近年来的研究热点。动态误差一般分为两类:一类是由组成系统的各部分元件本身的静态和动态误差性能不理想而引起的动态误差，另一类是由系统内外各种干扰引起的动态误差。

5) 几何误差

三坐标测量机由相互垂直的3个轴组成，力德三次元回收，各轴由滑块-导轨系统实现直线运动。由于制造偏差，力德三次元校准，滑块在轴向有定位误差，在另两个方向上有直线度误差及3个方向的角摆误差。又由于装配等因素造成3个轴之间存在垂直度误差，三坐标测量机共有21项几何误差。

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